Son Teknoloji Boşluk Kontrolü

• "Büyük Alan Tamamlama devresi (LAF)" ile donatılmıştır, büyük alanda stabil ve yüksek işleme hızına ulaşabilir.
• Yüksek Stabilite: İşlemenin düzgün ve kesintisiz olmasını sağlamak için deşarj boşluğunu hassas bir şekilde kontrol eder.
• Yüksek Hızlı İşleme: Verimliliği artırır ve işleme süresini kısaltır.
• Tutarlı Yüzey Kalitesi: Büyük alan işleme sırasında genel pürüzlülük, hedef Ra değerinden ±%10 sapma içinde tutarlı bir şekilde kontrol edilebilir.

5 μm içinde düzlük
Yarı iletken süreçlerinin son derece yüksek hassasiyet gereksinimlerini karşılayan olağanüstü hassas işleme yeteneği.

Yarı iletken ambalajı için en uygun yüzey dokusu

• Uzman sistemi, yarı iletken çok delikli işleme gereksinimleri için akıllı işleme yetenekleri ile donatılmıştır:
• Optimal işleme koşullarının otomatik seçimi: İşleme alanına dayalı olarak, manuel ayarlara ihtiyaç duymadan en uygun parametreleri otomatik olarak eşleştirir.
• Basitleştirilmiş işlem süreci: Kurulum süresini azaltır ve işleme verimliliğini artırır.
• Bu modül, yarı iletken işleme için özel olarak tasarlanmıştır, stabilite ve yüksek performans sağlar, böylece temel üretiminize odaklanabilir ve yüksek kaliteli sonuçlar elde edebilirsiniz.