Последняя технология контроля зазора

• Оснащен "Системой финишной обработки большой площади (LAF)", может обеспечить стабильную и высокую скорость обработки на большой площади.
• Высокая стабильность: точно контролирует зазор разряда для обеспечения плавной и непрерывной обработки.
• Высокоскоростная обработка: повышает эффективность и сокращает время обработки.
• Постоянное качество поверхности: общая шероховатость при обработке большой площади может быть стабильно контролируема в пределах ±10% отклонения от целевого значения Ra.

Плоскостность в пределах 5 мкм
Исключительная способность точной обработки, соответствующая крайне высоким требованиям точности полупроводниковых процессов.

Наиболее подходящая текстура поверхности для упаковки полупроводников.

• Экспертная система оснащена интеллектуальными возможностями обработки для требований многодырочного механического обработки полупроводников:
• Автоматический выбор оптимальных условий обработки: на основе обрабатываемой области она автоматически подбирает наиболее подходящие параметры без необходимости ручной настройки.
• Упрощенный процесс работы: сокращает время настройки и повышает эффективность обработки.
• Этот модуль специально разработан для обработки полупроводников, обеспечивая стабильность и высокую производительность, позволяя вам сосредоточиться на вашем основном производстве и легко достигать высококачественных результатов.